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激光技术在电子领域的新革命


    电子元器件产业是电子工业的支撑产业,是电子工业发展的基础。它们是组成电子设备的基本单元,属电子工业的中间产品。元器件产业发展的快慢、元器件的技术水平和生产规模,不仅直接影响整个电子工业的发展,而且对发展信息技术,改造传统产业,提高现代化技术装备水平,促进社会科技进步都具有重要意义。 
  过去的数年时间内,激光已经在微电子加工方面展示了其自身特有的优势。随着电子元器件向微型化和密度化发展,激光加工也将在这一行业得到越来越多的应用。
  原理:激光微调是利用激光可聚焦成很小的光斑,能量集中,有选择的气化部分材料来制造微电子元器件的一种方法。
  特点:用激光对电阻、电容进行精密微调,加工时对邻近的元器件热影响极小,不产生污染;宜于计算机控制,加工速度快、效率高,可连续监控;与常规微调方法相比,还具有精度高、在线性好和阻值不随时间变化等优点。
  激光微调消除了影响各种集成电路精度的种种限制。激光光束能精确的定向、定位在最小的尺寸区域内,并以规定的形式结合小的热作用区,可对薄膜元件进行精密单件微调。加工中没有中间(化学)过程并可在大气中作业,可实时检验结果,并实现激光加工过程的自动化。

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